光プローブによる観測結果
1.9 GHz、振幅は約50ピコメートル.
２．高周波超音波デバイス用レーザプローブの開発
超音波によってレーザ光が回折されることを利用して、弾性波伝搬を観測できます。
これを利用して、ＧＨｚ帯超音波素子を短時間で診断する装置を開発しています。
１．超高性能弾性表面波デバイスの開発
次世代通信実現に必要な超高性能弾性表面波(SAW)素子を開発しています。、
その設計技術・製造技術・評価技術並びに高機能電子システムの開発等を推進しています。
試作されたすだれ変換子
電極線幅(0.5ミクロン)
超高周波超音波を利用した電子素子が研究の中心です。特に携帯電話等に広く利用されている弾性表面波(SAW)素子について、世界各国の企業・研究機関と連携しながら、その高度化技術の開発を推進しています。なお、研究室の一番の強みは波動現象への深い理解に基づく素子特性のシミュレーション技術・設計技術です。当研究室で開発された様々な解析手法・ソフトウェアは世界中の企業・研究機関で広く利用されています。
３．機能性高周波超音波デバイスの実現
超高性能弾性表面波(SAW)素子と高周波電子回路技術との併用により、 次世代通信システム
実現に必要な可変フィルタや液滴マニピュレータ等の新新機能素子実現を目指しています。
試作帰還形フィルタの特性.
ＳＡＷ微小液滴マニピュレータの構成.
帰還形フィルタの構成.
観測試料（薄膜バルク波
共進子）の表面写真
開発された超広帯域ＳＡＷデバイスの周波数特性例
開発されたＳＨＦ帯ＳＡＷデバイスの周波数特性例
